扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵,是获得高真空的主要设备。
扩散泵广泛应用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟实验和对油污染不敏感的一些真空系统中。在扩散泵结构一定和无漏气前提下,油扩散泵的抽气特性和极限真空主要是看泵油的性能。
扩散泵油的选择
1、高真空技术中使用的扩散泵油,要求优良的热安定性和氧化安定性,以保证油品在泵腔内持续加热汽化、喷射、冷却的过程中不变质。
2、单一组分硅油比多组分硅油达到最大真空度需要的时间短的多,多组分扩散泵油各组分的蒸发温度不同,所需抽气时间相对较长。这就要求扩散泵油具有较窄的馏分,蒸馏温度范围窄,所以抽气的时间段,从而降低设备运行成本。
3、扩散泵油的饱和蒸气压直接就决定了所能达到的极限真空度,因此扩散泵油必须具有极低的饱和蒸气压。同时低的蒸气压可以有效的减少返流,以至于很多的制冷陷是不需要的。没有制冷陷的存在可以极大地提升扩散泵的抽气速率。
1、高真空技术中使用的扩散泵油,要求优良的热安定性和氧化安定性,以保证油品在泵腔内持续加热汽化、喷射、冷却的过程中不变质。
2、单一组分硅油比多组分硅油达到最大真空度需要的时间短的多,多组分扩散泵油各组分的蒸发温度不同,所需抽气时间相对较长。这就要求扩散泵油具有较窄的馏分,蒸馏温度范围窄,所以抽气的时间段,从而降低设备运行成本。
3、扩散泵油的饱和蒸气压直接就决定了所能达到的极限真空度,因此扩散泵油必须具有极低的饱和蒸气压。同时低的蒸气压可以有效的减少返流,以至于很多的制冷陷是不需要的。没有制冷陷的存在可以极大地提升扩散泵的抽气速率。