磁控溅射镀膜设备用什么型号的真空泵油？

磁控溅射镀膜技术以其溅射率高、基片温升低、膜基结合力号、装置性能稳定、操作控制方便等优点，受到对大面积的均匀性有特别苛刻要求的连续镀膜场合的欢迎。磁控溅射镀膜技术作为真空技术应用的重要领域，其工作原理是什么呢？巩华真空泵油厂家为您进行相关分析。
 
磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E（电场）×B（磁场）所指的方向漂移，简称E×B漂移，其运动轨迹近似于一条摆线。若为环形磁场，则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动，它们的运动路径不仅很长，而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内，并且在该区域中电离出大量的Ar 来轰击靶材，从而实现了高的沉积速率。随着碰撞次数的增加，二次电子的能量消耗殆尽，逐渐远离靶表面，并在电场E的作用下最终沉积在基片上。由于该电子的能量很低，传递给基片的能量很小，致使基片温升较低。


 
磁控溅射镀膜机作为主要生产设备，由分子泵和机械泵组成的真空系统在设备中有重要作用，机械泵和分子泵应该用什么型号的真空泵油呢？巩华真空泵油厂家建议您选择巩华GHV-500分子泵油和100号真空泵油，GHV-500作为分子泵专用油，具有具有良好的润滑性能，能够满足泵轴承高速运转的润滑要求；良好的热安定性和氧化安定性，可在高温，高转速工况下连续工作；分子泵油给轴承降温，减少轴承滚珠磨损，清洗分子泵轴承，避免污染物附着在轴承上延长了分子泵的使用寿命，是优质的分子泵专用油。巩华100号真空泵油是机械泵专用油，具有适宜的粘度，在低温下能使真空泵迅速启动，在高温下具有良好的密封性；分别满足规定要求的真空度和使用场合，是优质的机械泵专用油。
 
巩华真空泵油厂家提醒您，真空系统运转的稳定性和效率性与真空泵油的选择有着密不可分的关系，选择优质真空泵油厂家生产的油品，能够避免劣质油品对设备造成损害，还能保证设备的稳定高效运转。