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高真空镀膜机结构分析及用油选择

作者: admin 时间:2019-11-29 来源:巩华特油 标签:
摘要:真空镀膜技术作为一种新型的镀膜技术,随着全球制造业高速发展,真空镀膜技术的应用越来越广泛。采用高真空镀膜机进行真空镀膜,镀膜产品的厚度能够操控,通常为十几分或百分...

真空镀膜技术作为一种新型的镀膜技术,随着全球制造业高速发展,真空镀膜技术的应用越来越广泛。采用高真空镀膜机进行真空镀膜,镀膜产品的厚度能够操控,通常为十几分或百分之几微米,因而,高真空镀膜机被广泛运用于电子设备,地理仪器,外表等各职业,是目前制作真空条件应用相对广泛的设备。
 
高真空镀膜机的结构
一、真空主体——真空腔
根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。
 
二、辅助抽气系统
此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成 排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。
 
1、机械泵:
也叫前级泵,机械泵是应用最广泛的一种低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
 
2、增压泵
增压泵又叫罗茨泵,它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵,由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同,所以又可以叫罗茨真空泵,此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度,它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点,此泵不能从大气开始工作,也不能直接排出大气,它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差,其余的则需要机械泵来完成,因此,它必须配以机械泵作为前级泵。


 
3、油扩散泵:
机械泵的极限真空只有10-2帕,当达到10-1帕的时候,实际抽速只有理论的1/10,如果要获得高真空的话,必须采用油扩散泵。巩华真空泵油厂家生产的3号扩散泵油是油扩散泵专用油,扩散泵油经多次分馏,饱和蒸汽压低,抽真空更快,提高生产效率,在蒸气流的作用下,可以获得较高的真空;巩华3号扩散泵油具有较窄的馏分,提高了抽气速度,降低了设备运行成本;优良的热安定性和氧化安定性,保证了油品在泵腔内持续加热、汽化、喷射、冷却的过程而不变质;是扩散泵专用油的好选择。
 
最后巩华真空泵油厂家建议您,在高真空镀膜机使用过程中,对用油方面存在疑惑时,应当咨询相关设备厂家或者真空泵油生产厂家,避免由于选油问题或者油品使用问题处理不及时,造成设备损伤,增加不必要的生产成本,巩华随时有专业技术指导人员为您设备用油出现的问题答疑解惑,让您油品用的放心。

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