真空镀膜设备中的真空系统主要由机械泵、罗茨泵和扩散泵组成，油三者联合抽气来达到工作需要的真空度。它们在真空系统中起到什么作用？需要用到什么真空泵油呢？
1. 机械泵
机械泵是应用范围相对广泛的泵，在各种真空机组中都少不了它。巩华特油100号真空泵油是机械泵专用油，具有适宜的粘度，在低温下能使真空泵迅速启动，在高温下也具有良好的密封性，100号真空泵油能够满足真空镀膜设备要求的真空度和工作环境。
2. 罗茨泵
罗茨泵也是旋转泵的一种，它是依靠一对8字形的渐开线转子在保持一定间隙下通过等速反向旋转而进行抽气的。在它工作时两个转子在机壳内转动，气体从进气口进入空腔，随着转子位置的改变，这个腔体依次和机壳上部进气口隔绝，并紧接着和下面的出气口机通，从而把气体排出泵外。巩华特油高速真空泵油是罗茨泵油，具有极低的饱和蒸气压，不因泵体和油品温度的上升而影响真空极限压强。巩华高速真空泵油经深度加工、切割，芳烃和胶质成分含量少，避免油品受热变质产生热解，延长换油周期节约用油成本。
3. 油扩散泵
在使用扩散泵的过程中一定要注意冷却水的流量和温度，并且只有在扩散泵油被加热到沸腾以后，才能开启高真空阀，否则会造成真空室的大量返油。镀膜机的扩散泵停止工作后，必须使它在机械泵继续工作的情况下充分冷却然后才能关机。
