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真空镀膜设备的日常维护与保养维修技巧

作者: admin 时间:2019-07-06 来源:巩华特油 标签:
摘要:现在很多厂家对于真空镀膜设备的维护保养都不是很清楚,在需要进行保养维护的时候,结果却无从下手,让很多有真空镀膜设备厂家非常头痛。 巩华特油 为您整理相关真空镀膜设备的...

现在很多厂家对于真空镀膜设备的维护保养都不是很清楚,在需要进行保养维护的时候,结果却无从下手,让很多有真空镀膜设备厂家非常头痛。巩华特油为您整理相关真空镀膜设备的保养技巧。
1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
 
2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。需要选择品质优良的真空泵油,巩华特油100号真空泵油是真空镀膜设备用油,100号真空泵油具有适宜的粘度,在低温下能迅速启动,在高温下具有良好的密封性,分别满足规定要求的真空度和使用场合。
 


3、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。

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