巩华真空泵油在半导体行业中的应用

        半导体集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域有着重要的应用。从科学技术和经济发展的角度 来看，半导体影响着人们的日常工作生活，半导体材料的生产需要在真空条件下进行，巩华真空泵油厂家本文根据多年为半导体材料生产企业服务的经验，为您介绍半导体材料的生产真空设备以及真空泵加什么油。
 

　
　　许多半导体设备要求高真空, 比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD 等设备。在高真空环境下, 洁净度高、水蒸气很少。一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体, 在低漏率真空条件下, 这些气体不易外泄, 设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物, 保证工艺人员的安全。但是随着生产设备数量的增加, 以及新工艺对设备要求的提高, 真空故障随之增加。
 
半导体设备上常用的真空泵有旋片真空泵、罗茨泵、干泵、分子泵和冷泵等。扩散泵已经很少使用。旋片真空泵可以接上N2 气镇, 防止被抽气体在泵油中凝结; 接过滤器, 过滤泵油中的杂质; 接油雾过滤器和自动回油装置, 减少油的损耗。旋片真空泵分成普通型和防腐型。使用的油也分为普通真空泵油和防腐真空泵油, 这两种油不能混合使用。罗茨泵主要功能是在低真空下增加抽气速度。干泵的使用越来越多, 它使用小量的防腐真空泵油, 但是抽真空部分不含油。分子泵是靠高速旋转的叶片和静止叶片一起将气体抽走来产生高真空。冷泵是通过在泵内冷头上产生11 K 左右的极低温度, 再加上吸附阱对气体进行吸附, 来达到抽高真空的目的。冷泵是由冷泵和高效He 压缩机组成。
 


半导体设备中可以选用的真空泵型号种类众多，因此对应的在油品选择上也有所不同，选择一款合适的真空泵油才能更好的帮助设备高效运转，以旋片真空泵为例，巩华真空泵油厂家生成的高速真空泵油是旋片泵专用油，巩华高速真空泵油经深度加工、切割，芳烃和胶质成分含量少，避免油品受热变质产生热解，卓越的耐高温性，使真空泵在长期高温使用下更加清洁；具有较低的饱和蒸汽压，不因泵体和油品温度的上升而影响真空极限压强，保证设备运转过程中真空度的稳定，同时巩华高速真空泵油优质的抗乳化性和抗泡沫性，延长真空泵油换油期限，节约企业生产成本。
 
巩华真空泵油在真空镀膜、真空冶炼、真空烧结、真空钎焊、真空干燥、真空包装、制冷行业等真空行业有着广泛的应用，巩华专业技术指导人员根据您的设备型号以及行业要求为您选择合适的真空泵专用油，制定长期用油计划，及时解决您真空泵专用油使用过程中遇到的相关问题，让您用的放心。