1、极低的蒸汽压这是在进行真空泵油选择时首先要考虑的性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg），高的要求达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg）以下，因此要求真空泵油的蒸发性极低．一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
2、较高的闪点要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
3、较低的极限压力极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在低真空极限压力下真空泵的极限压力
4、合适的粘度良好的粘温特性真空系统利用泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。
5、真空泵油良好的热氧化安定性真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的热氧化安定性。
6、良好的抗腐蚀性与抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性。
综合以上6个指标，我们可以知道真空泵油质量的3个重要参数了
1.真空泵油的闪点越好，油分子不易挥发，保持极限压力。
2.低粘度比高粘度抗乳化性好，（工作环境温度高）
3.合成油要比天然抗无油耐热氧化性好。
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