超高真空应用中真空抽气系统都有哪些？真空泵加什么油？

真空技术的实现及应用必须在真空条件下进行，真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应用四个方面。在表面研究、热核反应、半导体研究、空间模拟等这些领域中，对真空的需求就会进入到超高真空范围，其工作极限压力一般介于10^-6～10^-10Pa之间，最高的可能会达到10^-12Pa。那这些超高真空应用所需的真空条件需要用哪些抽气系统实现呢，真空系统中真空泵加什么油呢？巩华真空泵油厂家为大家整理相关知识。
 
高真空及超高真空抽气系统
 
首先是扩散泵系统。它由扩散泵串联机械泵以及冷阱等系统构成。扩散泵系统是获得超高真空的重要泵种，但是在获得超高真空的过程中要解决来自扩散泵油、机械泵油的返流污染以及油热分解产生的气体返流。其中泵油返流可以通过液氮冷阱来捕集，而泵油分解产生的气体需要用钛升华阱来捕集。污染控制较好的扩散泵系统，可以得到10^-10Pa的真空度。
 
巩华真空泵油厂家生产的扩散泵硅油是扩散泵专用油，在超高真空扩散泵系统中有着广泛应用，在常温下具有更低的饱和蒸气压，能获得高真空或超高真空；巩华超高真空扩散泵硅油作为扩散泵专用油，同时还具有优良的热安定性和氧化安定性，持续在高温下工作不变质，不易氧化，长时间使用不结黑痂，易清洗扩散泵；分子量大不易返油，在抽气速度和返油率方面具有良好性能；化学稳定性好，并具有极强抗磁场放射线的辐射及难燃性。
 


涡轮分子泵抽气系统。涡轮分子泵可以串联干式机械泵组成无油超高真空系统，不烘烤可以实现10^-6Pa的真空度，经烘烤可以达到10^-8Pa的真空度。如果串联扩散泵作为前级泵，降低前级管道中的氢分压，配合钛升华阱可以获得高于10^-9Pa以上的真空度。由于涡轮分子泵内表面积大，因此烘烤除气是非常必要的，但烘烤温度一般只允许到100℃左右。
 
分子泵加什么油呢？巩华分子泵油是优质的分子泵专用油，巩华分子泵油具有良好的润滑性能，能够满足泵轴承高速运转的润滑要求；良好的热安定性和氧化安定性，可在高温，高转速工况下连续工作；在油品粘度较低的情况下，仍具有很低的饱和蒸汽压；良好的粘温性和低蒸发性，保证了油品良好的使用性能；巩华分子泵油给轴承降温，减少轴承滚珠磨损，清洗分子泵轴承，避免污染物附着在轴承上延长了分子泵的使用寿命，是优质的分子泵专用油。


 
溅射离子泵无油超高真空系统。此系统是获得清洁超高真空的主要手段，可以获得10-9Pa的真空度，一般由溅射离子泵、钛升华泵与分子筛吸附泵或者是与涡旋泵、液氮阱等共同组成，可以获得清洁的无油超高真空系统。由于溅射离子泵的启动压力在1Pa以下，而且对有机蒸汽敏感，因此在使用时需要对其进行彻底的烘烤除气，并用预抽泵抽走烘烤释放出的气体。
 
低温泵抽气系统。低温泵抽气系统用低温泵作为主泵，并联或串联分子筛吸附泵，也可以用机械泵作为预抽真空泵，但若是油封机械泵就必须在机械泵的入口管路上设置油蒸气捕集器。低温泵抽气系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片以及自身带来的气体污染，是一种清洁的抽气手段。20K的低温泵可以得到10^-8Pa的真空度，4.2K的低温泵可以得到10^-10～10^-12Pa的真空度。
 
除了上述这些，根据不同的应用需要与特点，也可以通过组合系统来实现更细致的需求。同时为真空系统选择一款合适的真空泵油，也是保证超高真空系统高效稳定运转的重要一环，关于真空泵油使用方面有任何疑问，欢迎咨询巩华真空泵油厂家。