如何提高扩散泵的工作性能

（1）目前国内生扩散泵的厂家较多，型号、尺寸不统一，大泵越作越大，小泵则很少生产。况且对泵的全面性能也没有考核指标。行业应对提高性能和质量进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作，使用户配套方便。
（2）泵在结构方面：要缩小尺寸、降低重量，保证零件的加工精度，可增加级数，提高在4×10-1Pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。
（3）增加附件。如设置挡油帽，过热保护装置（对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位）。出口压力的监控。
（4）规定油量的最大值和最小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要观察油位，以方便用户及时加注扩散泵专用油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。
（5）给出合适的前级泵的容量。



（6）为了节能加热功率要可调，要快速起动和快速冷却停泵，提高设备的运转率。
（7）给出各种被抽气体的性能曲线，最好给出对一些气体的压缩比（方便用户选用。
（8）用微机控制运行和故障诊断。
（9）密封处要选高质量的放气率和透气率小的橡胶圈。
（10）给出各种泵的返油率限定值，进一步降低返油率，扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少数部件需要维修，泵内无运动部件，工作中可更换加热器。硅油或聚苯醚的蒸汽压为10-9~10-10Torr，使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10Torr或更低的压力。     
（11）选择高质量扩散泵专用油，巩华特油3号扩散泵油是扩散泵专用油，具有较低的饱和蒸气压，能够迅速启动达到工作所需真空度，3号扩散泵油优良的热安定性和氧化安定性，保证了油品在泵腔内持续加热、汽化、喷射、冷却的过程而不变质；分子量大，油蒸气遇冷迅速冷却回流，降低了返油率，减少镀膜的污染。