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巩华真空泵油在超高真空镀膜机上的应用

作者: admin 时间:2020-08-27 来源:巩华特油 标签:
摘要:超高真空镀膜机在长期使用过程中,维护保养是必不可少的。其中超高真空镀膜机的清洗处理是非常重要的,镀膜机的清洗处理是否到位,将直接影响到极限真空环境的获得。使用良好...

 超高真空镀膜机在长期使用过程中,维护保养是必不可少的。其中超高真空镀膜机的清洗处理是非常重要的,镀膜机的清洗处理是否到位,将直接影响到极限真空环境的获得。使用良好的清洁处理工艺比之一般的清洗处理工艺,其设备材料的出气率要低了几个数量级。
 
  比如说不锈钢材料的真空设备,它长期不断在大气中暴露,不进行任何清洗、去油处理、烘烤处理的话,其在抽气一小时后约为2x10[Pa·m/(s·m)]的出气率;若做了去油处理,不做烘烤处理,其在抽气四小时后可到1 x 10[Pa·m(s· m)]的出气率;如果去油后,再做清洗,又在250C的温度之下烘烤十五个小时的话,即可降到1 X 10[Pa·m/(s·m)]的出气率,可以发现,其出气率下降了近五个数量级之多。
 
  通常需要做烘烤处理,对超高真空环境的获得来说,真空烘烤是不可缺少的工艺。一套合格的真空设备的设计,若少了烘烤措施,也没有其它相关措施的处理的话,那么不管配置任何类型的真空泵(如扩散泵、低温泵、溅射离子泵、涡轮分子泵等)做抽气处理,最终获得的工作压力也就大概在10Pa-10Pa这个数量级之间,顶多可达极限真空10Pa的量级,想要再高的真空度那就是天方夜谭。
 
  针对于不锈钢,加速出气的方法有两种是最有效的:
 
  1、在400C温度下的空气中烘烤;
 
  2、在800C-950C下的真空环境烘烤。
 
烘烤处理工艺需要在2700Pa压力下的纯氧环境中进行,才能减少烘烤过程中存在水蒸气影响到材料表面的可能,此外,还需明确真空烘烤应在10Pa下进行,才能让材料中的氢浓度降低到我们需要得到的最低限度。
 
除此之外选择一款适合高真空状态下使用的真空泵油也是十分重要的,选择油品性能不够会使得设备达不到高真空状态所需的真空度,巩华真空泵油泵油生产的合成真空泵油扩散泵硅油以及分子泵油都能够很好的帮助设备获得高真空。巩华合成真空泵油、扩散泵油以及分子泵油分别适合不同真空设备以及真空环境下进行使用,相关厂家在不清楚设备采用什么型号的真空泵油时,巩华有专业技术指导人员根据您的设备型号以及工作环境要求,为您选择合适的真空泵专用油。同时巩华有自己的科研团队,注重技术创新、管理创新、设备创新,研发出拥有自主知识产权的新产品。巩华精密而齐全的检测设备,多级分子蒸馏与薄膜分子蒸馏系统,全新工艺的精馏过滤装置,全自动化负压调和设备以及精湛的生产工艺和质量管理体系为生产出优质真空泵专用油提供可靠保证。


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